國內真空泵制造業(yè)的開展空間寬廣

真空泵是一個量大面廣的商品，產值很大，產值不高，但它確實是一個直接影響到真空成套設備功能質量的必不可少的根底商品。真空泵從高/超真空到粗/低真空，其商品大致可分14大類：

高/超真空——低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、分散泵。

中真空——干泵、雙級旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。

粗/低真空——單級旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復式真空泵。

真空泵的商場依據用戶的需求而發(fā)作動態(tài)改變。商場增加的主要驅動力來自于半導體工業(yè)的迅速開展以及干泵和分子泵使用范疇的日益擴大。

當前，全球真空泵商場的年銷售額約20億美元，年增加率在7%擺布。

中國出產真空泵的廠家很多，悉數真空泵的年銷售額大約在1.5億元擺布，僅相當于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。經過對全球真空泵商場的剖析咱們能夠看出，各類真空泵的商場及使用范疇都在不斷改變和開展。中國真空泵制造業(yè)有著悠長的前史和雄厚的根底，國產真泵現已在各個不一樣范疇得到使用并經過驗證，有些泵還出口國外，得到國外用戶的認可并受到好評，應該說中國真空泵制造業(yè)在國內外商場依然有著巨大的開展空間。

1.液環(huán)泵

盡管液環(huán)泵歸于粗真空泵，但在中國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等范疇依然有著很大的商場。在國外，液環(huán)泵的銷售額占悉數真空泵商場的14%，僅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中國投資建廠或樹立銷售網絡，不斷擴大在中國的商場份額。因為液環(huán)泵大多數是鑄件，加工需求也不高，屬勞動密集型商品，所以國產液環(huán)泵在報價上有競賽優(yōu)勢，關鍵是要改進設計，減小體積，減輕分量，進步功率，下降能耗。

2.滑閥泵

因為滑閥泵對比經用、牢靠，國內外各種真空爐、鍍膜機以及枯燥、浸漬等設備都是用滑閥泵作為前級泵，可是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國外各真空廠都在中國尋覓合作伙伴。為了使國產滑閥泵能夠進入國際商場，必須進一步下降泵的振蕩噪聲，根絕噴油和漏油，進步滑閥泵長時刻運轉的牢靠性。

3.直聯旋片泵

跟著真空技術在各個使用范疇的不斷擴大，直聯旋片泵的需求量越來越大。因為這種泵數量很多，加工安裝工作量很大，報價又很低，所以有的國外真空廠商在中國樹立專業(yè)廠。國產中小型直聯旋片泵在技術上已經過關，報價又遠比國外的泵便宜，所以國產泵依然有競賽優(yōu)勢，關鍵是要解決軸封漏油以及旋片資料和真空泵油的功能質量問題，確保直聯泵在高速、高溫下功能穩(wěn)定和運轉牢靠，一起還要進一步進步國產直聯旋片泵抽除水蒸氣的能力。

4.羅茨泵

從國外羅茨泵出產狀況來看，國外幾家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超越5%，這5家總計才20%，羅茨泵產值不大，但國外羅茨泵的報價遠比國產泵要高得多。當前，國內外幾乎一切大型或小型的高真空和中真空系統，為了縮短抽氣時刻、進步出產功率都配有羅茨泵，所以國產羅茨泵必定要在占據國內商場根底上設法進入國際商場，這樣就必須進一步下降國產羅茨泵的振蕩噪聲，徹底解決軸封漏油問題，改進泵的外觀質量，進步泵內的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在進步轉速的狀況下長時刻運轉的牢靠性。

當前，國內氣冷式直排大氣羅茨泵開展很快，技術上現已成熟。因為這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體經過管道回來泵腔以冷卻轉子，從而使緊縮熱得平衡，所以這種泵能夠直排大氣。為了滿意不一樣極限真空度的需求，這種泵能夠串聯使用，通常前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所到達的極限真空要比前級泵高一個數量級。這種真空泵因為在泵腔內沒有工作介質，實際上也是歸于干泵。當前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機組現已在石油、化工、塑料、農藥、汽輪機轉子動平衡、航空航天空間模仿等設備上得到了長時刻運轉的檢測，所以應該在國內大力推廣和使用。

5.分子泵

分子泵在國外半導體范疇里的很多技術場合是用來替代低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等設備都彩 復合分子泵和牽引泵作為主泵。

因為分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時刻比低溫泵長。為了進步抽速，國外在分子泵的進口側裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，別的氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜設備上使用，既進步了出產功率又改進了膜層質量。跟著中國半導體工業(yè)、薄膜工業(yè)和科學研討工作迅速開展，分子泵應該是中國真空泵制造業(yè)開展的要點。首要，分子泵要從小到大樹立完好系列，并研討開發(fā)各種復合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿意不一樣場合的需求。

6.干泵

國外干泵商場的不斷增加，其主要驅動來自于半導體職業(yè)、化學工業(yè)、薄膜工業(yè)的迅速開展。在日本，半導體職業(yè)已悉數用干式真空泵替代油封式機械泵，歐美半導體職業(yè)45%以上用干式真空泵替代了油封式機械泵，大大進步了商品的功能和質量。為了滿意不一樣使用范疇和不一樣工況的需求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，當前國產干泵的使用還缺乏1%，國內半導體工業(yè)用的干泵悉數從國外進口，其報價非常貴重。所以，中國應大力研討開發(fā)干泵，使干泵變成中國真空工業(yè)新的經濟增加點。